服务热线:15980987101

新闻中心

当前位置:新闻中心

德化高纯氮的用途有哪些

* 来源: www.xmtean.com * 作者: admin * 发表时间: 2019/08/06 17:30:29 * 浏览: 153

在集成电路、半导体和电真空器件制造中用作保护气和运载气,化学气相淀积时的载气,液体扩散源的携带气,在高温扩散炉中用作器件的保护气。德化高纯氮在外延、光刻、清洗和蒸发等工序中,作为置换、干燥、贮存和输送用气体。显像管制造中要求氮气纯度为99.99%以上。在航天技术中,液氢加注系统必须先用德化高纯氮置换,再用德化高纯氦置换。